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半導(dǎo)體制作工廠廢氣處理工程
編輯:?jiǎn)⒕G環(huán)保 瀏覽: 時(shí)間:2020-03-20
半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè),但事實(shí)上,半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)和無機(jī)物,包括許多有毒有害物質(zhì),對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重,如不加以控制,將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
隨著國(guó)家對(duì)環(huán)保的重視,國(guó)家和地方相繼發(fā)布了半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)。
東莞啟綠環(huán)保工程設(shè)備公司首先提出活性炭吸附概念(發(fā)明專利),是掌握該技術(shù)并實(shí)際應(yīng)用的企業(yè)。為有機(jī)廢氣治理開辟了一條全新的途徑。
半導(dǎo)體制作工廠廢氣處理工藝說明:
有機(jī)廢氣氣體由風(fēng)機(jī)提供動(dòng)力,正壓或負(fù)壓進(jìn)入活性炭吸附器,廢氣與具有大表面的多孔性的活性炭接觸 ,廢氣中的污染物被吸附,使其與氣體混合物分離而起到凈化作用,凈化氣體高空達(dá)標(biāo)排放。
不含塵機(jī)廢氣處理活性炭吸附工藝流程圖
含塵含高溫機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附處理工藝流程圖
深圳合元集團(tuán)有限公司有機(jī)廢氣處理(活性炭吸附)
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來源于:東莞市啟綠環(huán)保工程設(shè)備有限公司
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